干式真空泵主要作用是能從大氣壓力下開始抽氣，也能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。另外有干式螺桿真空泵、無油往復真空泵、爪式真空泵、無油渦旋真空泵幾種形式，且應用廣泛。

干式真空泵運轉(zhuǎn)時，在電動機的驅(qū)動下，通過曲柄連桿機構(gòu)的作用，使氣缸內(nèi)的活塞作往復運動。當活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運動時，由于氣缸的左腔體積不斷增大，左腔空間的壓強不斷的降低，當左腔空間內(nèi)的壓強低于被抽容器內(nèi)的壓強，根據(jù)氣體壓強平衡的原理，被抽容器內(nèi)的氣體經(jīng)過吸氣閥不斷地被抽進左腔，此時正處于吸氣過程。

　　當活塞達到最右位置時，氣缸左腔內(nèi)就充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運動，此時吸氣閥自動關(guān)閉。氣體隨著活塞從右往左運動而逐漸被壓縮。當氣缸內(nèi)的氣體達到排氣壓力時，此時排氣閥被打開，氣體被排出，完成了一個工作循環(huán)。

　　當活塞在從左端向右端運動時，重復上述循環(huán)，直到被抽容器達到某一平衡壓力為止。