干式螺桿真空泵也就是人們經(jīng)常提到的干式真空泵，這種真空泵是由泵蓋、泵體、圓盤，葉輪、機械密封、電動機等零部件構(gòu)成。從配置上看，干式真空泵的進(jìn)氣管和排氣管通過安裝在泵蓋上的吸入孔和排氣孔與泵腔相連。葉輪用平鍵固定在軸上。干真空泵兩端間隙由泵體與盤之間的緩沖墊調(diào)節(jié)。泵蓋上葉輪與盤之間的間隙由盤與泵體之間的緩沖墊調(diào)節(jié)。葉輪和泵的兩端由圓盤和泵體之間的緩沖墊調(diào)節(jié)。蓋板之間的間隙決定了從進(jìn)油口到泵室排氣口的流量中的氣體損失及其極限壓力。干式真空泵的密封采用機械密封，機械密封安裝在葉輪和泵體之間。

葉輪與泵體之間的間隙由機械密封確定。干螺桿真空泵的蓋子上裝有一個圓盤。該閥盤配有吸入孔、排氣孔和柔性排氣閥盤。柔性閥盤的作用是當(dāng)葉輪葉片之間的氣體壓力達(dá)到排氣壓力時，排出排氣口前的氣體，從而降低過大的氣體壓力所消耗的功率，從而降低消耗率。
干式螺桿真空泵是由泵殼內(nèi)一對螺釘同步高速反向旋轉(zhuǎn)而成的一種吸排設(shè)備。兩個螺釘通過精密動平衡校正，由軸承支撐并安裝在泵殼中。由于螺桿與螺桿之間有一定的間隙，所以在泵工作時，泵與螺桿之間沒有摩擦，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔不需要潤滑油。因此，干螺桿泵可以去除含有大量蒸汽和少量灰塵的氣體。極限真空度高，功耗低，具有節(jié)能、免維護等優(yōu)點。它是傳統(tǒng)真空泵的替代產(chǎn)品，具有廣闊的市場前景。